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Einweihung des Reinraumanbaus am Institut für Mikroelektronik Stuttgart

22. April 2013

Finanz- und Wirtschaftsminister Dr. Nils Schmid und Oberbürgermeister Fritz Kuhn weihen den neuen Reinraum ein.

Nach zwei Jahren Bauzeit wird am 22. April der neue Reinraum des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart feierlich eingeweiht. Zeitgleich wird auch die Anlieferung eines neuen Elektronenstrahlschreibers gefeiert. Das Land unterstützt den Anbau und die Gerätebeschaffung mit insgesamt 14,7 Millionen Euro. Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart, hat eine führende Position auf dem Gebiet der Nanostrukturierung und der Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips und Nanostrukturen. Mit dem Reinraumanbau kann die Produktionsfläche des Instituts für Halbleiter und optische Komponenten um mehr als die Hälfte vergrößert werden. Mit dem neu beschafften Großgerät „Elektronenstrahl-Schreiber“, dem dritten in der Institutsgeschichte, kann das Institut auch künftig einen wichtigen Beitrag bei der Entwicklung und Herstellung extrem präziser optische Komponenten, wie sie für die Halbleiterindustrie benötigt werden, leisten.

Pressemitteilung Einweihung

Ort: Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Allmandring 30a, Stuttgart

IMS Newsletter 1/2013

14. Mai 2013

Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur Verfügung.

Mit dem Newsletter 1/2013 möchten wir Sie über aktuelle Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:

Einweihung des Reinraumanbaus am IMS
Nach zwei Jahren Bauzeit wurde am 22. April der neue Reinraum des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart von Finanz- und Wirtschaftsminister Dr. Nils Schmid und Oberbürgermeister Fritz Kuhn eingeweiht. Zeitgleich wurde auch die Anlieferung eines neuen Elektronenstrahlschreibers gefeiert.

µ-Probe, beheizbare Führ­ungs­platte für Prüfkarten
Siliziumkomponenten mit hochpräzisen Mikrostrukturen eröffnen neue Möglichkeiten in der Feinwerktechnik: Am IMS entwickelte Siliziumführungsplatten mit Heizelementen wurden in Prüfkarten integriert und erfolgreich im Wafertester erprobt. Der Test von Siliziumchips der nächsten Generation ist mit dieser Technik präzise bei verschiedenen Temperaturen möglich.

Neuartige optische Elemente zur Präzisions­messung von EUV-Spiegeln
Am IMS wurden Technologien zur Herstellung von neuartigen optischen Elementen in höchster Qualität für den Einsatz in der Präzisionsmessung von EUV-Spiegeloptiken entwickelt. Die Arbeiten waren Teil des vom BMBF geförderten Verbundprojektes „EUV-Lithografie für den 22-Nanometer-Knoten“ und damit eingebettet in das europäische Projekt EXEPT. Nach dem erfolgreichen Abschluss des EXEPT-Projektes in 2012 gewann dieses den CATRENE Innovation Award.

Handbuch: Guide to State-of-the-Art Electron Devices
Der „Guide to State-of-the-Art Electron Devices“ erscheint anlässlich des 60. Jubiläums der IRE Electron Devices Group und des 35. Jubiläums der IEEE Electron Devices Society. Er enthält einen Überblick über die neuesten elektronischen Bauelemente und informiert über künftige Trends in der gesamten Branche.

Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.

Viel Spaß beim Lesen!

IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits (EDSSC 2013) in Hong Kong

03. - 05. Juni 2013

Das IMS ist mit einem Vortrag auf der EDSSC 2013 in Hong Kong vertreten.

Flexible and Organic Electronics 1: (Invited) "Ultra-Thin Chips for Flexible Electronics"
J. N. Burghartz, E. Angelopoulos, W. Appel, S. Endler, S. Ferwana, C. Harendt, M. Hassan, H. Rempp, H. Richter and M. Zimmermann

Montag, 03. Juni 2013, (14:40 - 15:10)


Weitere Informationen finden Sie unter:
http://www.polyu.edu.hk/feng/edssc2013

Ort: Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong

Artikel über die IMS Chipfilm™ Technologie in IEEE Spectrum

01. März 2013

In der März-Ausgabe von IEEE Spectrum erschien ein Feature-Artikel mit dem Titel "Make Way for Flexible Silicon Chips".

Prof. Dr.-Ing. Joachim Burghartz, Direktor des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart, beschreibt in dem Artikel das Potenzial der IMS Chipfilm™ Technologie zur Herstellung ultradünner Silizium-Chips. Diese Technologie könnte in Zukunft bei etlichen industriellen Anwendungen flexibler Elektronik zum Einsatz kommen. Flexible, ultradünne Chips können mit flächenverteilten Dünnfilm-Komponenten, z.B. organischen Halbleiterbauelementen, zu einem optimalen Gesamtsystem kombiniert werden. Daraus ergeben sich vollkommen neue elektronische Anwendungsmöglichkeiten und verbesserte Lösungen gegenwärtigen Elektronikprodukte, die in dem Artikel in IEEE Spectrum in anschaulicher Weise aufgezeigt sind.


Weitere Informationen zum Artikel "Make Way for Flexible Silicon Chips" finden Sie unter: http://spectrum.ieee.org

Archiv

Smart Frame R&D Workshop am IMS

08. Mai 2013
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Clusterkonferenz des Spitzenclusters MicroTEC Südwest

22. - 23. April 2013
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BMBF-Förderprojekt KoSiF gestartet – Unternehmen und Forscher arbeiten gemeinsam an biegbaren und autonomen Sensorsystemen

27. März 2013
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Wissenschaft zum Ansprechen – Innovationsbörse Energie bei der IHK Schwarzwald-Baar-Heuberg

20. März 2013
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5. Innovationsforum für Mikrotechnik & SmartSystems 2013 in Villingen-Schwenningen

27. Februar 2013
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Vortrag "Ultra Thin Chips: A new paradigm in silicon technology?"

12. - 14. Februar 2013
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49. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Mannheim

08. Februar 2013
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CEB Clean Energy Building 2013 in Stuttgart

07. - 09. Februar 2013
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Seminar „ASIC Lifecycle“ am 22. Januar 2013 am IMS

22. Januar 2013
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Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2013

17. Dezember 2012
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Das EXEPT Projekt erhält den CATRENE Innovation Award 2012

04. Dezember 2012
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Projekt µ-Probe erfolgreich abgeschlossen: Beheizbare Führungsplatte erfüllt die Erwartungen

30. November 2012
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Das HiDRaLoN Projekt wurde mit dem Demonstration Award auf dem diesjährigen European Nanoelectronics Forum 2012 ausgezeichnet

26. November 2012
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BMBF-Verbundprojekt EXEPT zu neuartiger Chipherstelltechnologie erfolgreich beendet

29. Oktober 2012
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Erfolgreicher Projektabschluss im BMBF-Verbundprojekt HiDRaLoN

22. Oktober 2012
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10th Workshop "Beams and More" 2012

18. Oktober 2012
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Mikroelektronik Technologie Seminar

10. - 12. Oktober 2012
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Ministerialdirektor Helmfried Meinel informiert sich bei IMS CHIPS über aktuelle Entwicklungen

10. Oktober 2012
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Vienna-Tec 2012

09. - 12. Oktober 2012
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3. Workshop - Packaging von Mikrosystemen PackMEMS 2012

02. Oktober 2012
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Der 2. PRONTO-Workshop findet am HSG-IMIT in Villingen-Schwenningen statt

26. September 2012
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42nd European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) in Bordeaux

17. - 21. September 2012
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4th Electronics System ESTC 2012, Amsterdam

17. - 20. September 2012
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IHK Veranstaltungsserie "Wirtschaftsnahe Forschungseinrichtungen" am IMS

13. September 2012
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Verbundprojekt ETIK führt Entwicklung der EUV-Lithografie weiter

30. August 2012
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SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips

16. - 27. Juli 2012
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IMS CHIPS bei den Reutlinger Innovationstagen 2012

12. Juli 2012
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MedTech Pharma 2012

04. - 05. Juli 2012
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Thementag "Intelligentes Licht" am IMS

28. Juni 2012
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Anerkennung für METEC bei der Verleihung des VR-InnovationsPreis Mittelstand 2012

20. Juni 2012
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Mikrosystemtechnik Erkundung

12. - 14. Juni 2012
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8th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics & Electronics in Aachen

12. - 15. Juni 2012
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Produktionsplattform PRONTO auf der SENSOR+TEST 2012

22. - 24. Mai 2012
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Clusterkonferenz des Spitzenclusters MicroTEC Südwest

14. - 15. Mai 2012
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Control 2012 - Internationale Leitmesse für Qualitätssicherung

08. - 12. Mai 2012
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Retina Implantat in der Sendung mit der Maus

25. April 2012
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PRONTO auf der HANNOVER MESSE, Halle 17, Stand C48

23. - 27. April 2012
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SPIE Photonics Europe 2012

16. - 19. April 2012
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IMS Newsletter 1/2012

05. April 2012
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24V-ASICs im Kommen

21. März 2012
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7th International Conference on Integrated Power Electronics Systems (CIPS) 2012 in Nürnberg

06. - 08. März 2012
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4. Innovationsforum für Mikrotechnik 2012 in Villingen-Schweningen

29. Februar 2012
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Fachtagung "Elektronische Baugruppen und Leiterplatten EBL 2012" in Fellbach

14. - 15. Februar 2012
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Richtfest des Reinraumanbaus am Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS)

13. Februar 2012
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Staatssekretär Ingo Rust informiert sich im IMS über aktuelle Entwicklungen

31. Januar 2012
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25. International Conference on Micro Electro Mechanical Systems IEEE MEMS 2012 in Paris

29. Januar - 02. Februar 2012
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Mikrosystemtechnik Erkundung

27. Januar - 10. Februar 2012
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The Micronarc Alpine Meeting MAM 2012 in der Schweiz

24. Januar 2012
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Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2012

17. Dezember 2011
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Anerkennung für METEC bei der Verleihung des Innovationspreises des Landes Baden-Württemberg

24. November 2011
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Forum "be-flexible" 2011 - Flexible Electronic Systems, 10th International Workshop

23. - 24. November 2011
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Der ICT.OPEN 2011 BEST POSTER AWARD geht an das IMS

15. November 2011
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ICT.OPEN 2011

14. - 15. November 2011
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HiDRaLoN 4. User Group Workshop

11. November 2011
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IMS Newsletter 2/2012

30. Oktober 2011
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9th Workshop "Beams and More" 2011

27. Oktober 2011
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Verleihung des GMM-Preises 2011 an Evangelos Angelopoulos von IMS CHIPS

12. Oktober 2011
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Mikroelektronik Technologie Seminar

12. - 14. Oktober 2011
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Produktionsplattform PRONTO auf dem MST-Kongress 2011 in Darmstadt

10. - 12. Oktober 2011
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IMS Newsletter 2/2011

30. September 2011
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Semiconductor Conference Dresden (SCD)

27. - 28. September 2011
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SPIE Photomask Technology 31st Annual Symposium 2011

19. - 22. September 2011
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41st European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) in Helsinki

12. - 16. September 2011
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IMS CHIPS Mitglied von „eBeam Initiative“

12. September 2011
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SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips

18. - 29. Juli 2011
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Tag der Innovationsallianz innBW

14. Juli 2011
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Clusterkonferenz des Spitzenclusters MicroTEC Südwest

05. - 06. Juli 2011
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46. Heidelberger Bildverarbeitungsforum 2011 in Kelheim bei Regensburg

05. Juli 2011
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Der erste PRONTO-Workshop findet am Institut für Mikroelektronik Stuttgart statt

30. Juni 2011
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Forschungsverein des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart e.V.

30. Juni 2011
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Produktionsplattform PRONTO auf der SENSOR+TEST 2011

07. - 09. Juni 2011
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TRANSDUCERS' 11 – The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems

05. - 09. Juni 2011
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TAE Business Breakfast – Wettbewerbsfähige Mikrosystemtechnik braucht Nachwuchs

26. Mai 2011
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Mikrosystemtechnik Erkundung

23. - 31. Mai 2011
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Produktionsplattform PRONTO auf der SMT/HYBRID/PACKAGING 2011

03. - 05. Mai 2011
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HyperBraille Blindenschrift-Display eröffnet Chancen für Sehbehinderte in Bildung und Beruf

28. - 30. April 2011
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PRONTO auf der HANNOVER MESSE, Halle 6, Stand H18-E4

04. - 08. April 2011
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German Microwave Conference 2011 in Darmstadt

14. - 16. März 2011
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Cadence: IMS CHIPS realisiert fortschrittliches Gate-Array-Design mit Silicon Realization-Technologien

23. Februar 2011
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ISSCC International Solid-State Circuits Conference 2011

20. - 24. Februar 2011
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Land investiert 6,7 Mio. in IMS-Reinraum-Anbau

15. Februar 2011
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IMS CHIPS bekommt neuen Elektronenstrahl-Schreiber

14. Februar 2011
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45. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Albstadt-Sigmaringen

04. Februar 2011
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Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2011

17. Dezember 2010
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Neuerscheinung Fachbuch "Ultra-thin chip technology and applications"

13. Dezember 2010
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Mikrosystemtechnik Erkundung

07. Dezember 2010
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Neuer ultradünner Chipherstellungsprozess präsentiert auf der IEDM 2010 in San Francisco

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Aufsehenerregender medizinischer Erfolg mit IMS Retina Chip

02. Dezember 2010
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HiDRaLoN User Group Workshop

12. November 2010
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Mikrosystemtechnik aus Baden-Württemberg: eine Erfolgsgeschichte – auch in Zukunft!

15. Oktober 2010
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Mikroelektronik Technologie Seminar

13. - 15. Oktober 2010
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Workshop "Embedded Systems & Smart Power"

12. Oktober 2010
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Produktionsplattform PRONTO auf der 4. Microsys in Stuttgart

13. - 16. September 2010
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ESTC 2010, Berlin: Vortrag "Packaging Challenges Associated with Warpage of Ultra-Thin Chips"

13. - 16. September 2010
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IMS Newsletter 2/2010

10. September 2010
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Beitritt zum Fachverband für Mikrotechnik IVAM

06. September 2010
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SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips

19. - 30. Juli 2010
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8th Workshop "Beams and More" 2010

10. Juli 2010
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Der Landesforschungspreis für Angewandte Forschung wird in einem Festakt in Stuttgart an Professor Dr.-Ing. Joachim Burghartz verliehen

08. Juli 2010
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Projekt Chipfilm™ erfolgreich abgeschlossen

29. Juni 2010
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TanDEM-X - Radarsatellit erfolgreich von Baikonur gestartet

21. Juni 2010
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Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“

21. Juni 2010
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MoDekt – Abschlusspräsentation am 7. Juni in Tübingen

07. Juni 2010
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IEEE EDS Mini-Kolloquium am 7. Juni 2010

07. Juni 2010
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54th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication

01. - 04. Juni 2010
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Mitgliedschaft im AMA - Fachverband für Sensorik e.V.

14. Mai 2010
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2. GMM Workshop — Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik

10. - 11. Mai 2010
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Neuartiges Blindenschrift-Display mit IMS-ASICs auf der SightCity 2010 in Frankfurt

28. - 30. April 2010
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Professor Dr.-Ing. Joachim Burghartz erhält den Landesforschungspreis für Angewandte Forschung

23. April 2010
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Photomask and NGL Mask Technology XVII

13. - 15. April 2010
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MEDEA+ Projekt FANTASTIC erfolgreich abgeschlossen

11. April 2010
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IMS Newsletter 1/2010

26. März 2010
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Verbundprojekt ValMon gestartet

09. Februar 2010
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XLIII. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Göppingen

05. Februar 2010
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IMS CHIPS gewinnt mit dem Spitzencluster MicroTEC Südwest

26. Januar 2010
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Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2010

17. Dezember 2009
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Innovative Lernmedien bei IMS CHIPS

09. Dezember 2009
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Pressemitteilung zum BMBF-Verbundprojekt HiDRaLoN

08. Dezember 2009
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Vortrag "Anomalous Stress Effects in Ultra-Thin Silicon Chips on Foil"

07. - 09. Dezember 2009
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Erneut Paper Award auf der SPIE Photomask Conference 2009 in Monterey, USA

07. Dezember 2009
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Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“

30. November 2009
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SAFE 2009 – Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and SENSORS

26. - 28. November 2009
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Kinder-Uni: "Warum kommen aus dem Radio Töne?

20. November 2009
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8th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology

11. - 13. November 2009
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Erster User Group Workshop im Rahmen des HiDRaLoN Projekts

06. November 2009
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EDS Chapter Meeting am 04.11.09 in Reutlingen

04. November 2009
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7th Workshop "Beams and More" 2009

22. Oktober 2009
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Mikroelektronik Technologie Seminar

14. - 16. Oktober 2009
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Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM)

13. - 14. Oktober 2009
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Hochbegabte Jugendliche besuchen IMS

09. Oktober 2009
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Micro Nano Engeneering – MNE 2009

28. September - 01. Oktober 2009
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IMS Newsletter 2/2009

25. September 2009
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ESSDERC/ESSCIRC 2009, Athen: Vortrag "Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"

14. - 18. September 2009
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SPIE Photomask Technology 29th Annual Symposium (BACUS 2009)

14. - 17. September 2009
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Neue Technologie-Entwicklung – Mittelstand bekommt Zugang zu Smart Power Chips

26. August 2009
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EXEPT – EUV Lithografie für den 22 nm Knoten

22. Juli 2009
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SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips

20. - 31. Juli 2009
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Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“

02. Juli 2009
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Neue Runde im Spitzencluster-Wettbewerb des Bundes: MicroTEC Südwest erneut im Finale!

25. Juni 2009
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TEMPERATUR 2009 - Verfahren und Geräte in der Temperatur- und Feuchtemesstechnik

24. - 25. Juni 2009
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53rd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication

26. - 29. Mai 2009
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HiDRaLoN Projekt gestartet

24. Mai 2009
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16. Tagung des VDE/VDI-Arbeitskreis „Mikrotechnik" in Thüringen

19. Mai 2009
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International Conference on IC Design & Technology

18. - 20. Mai 2009
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Neuartiges Blindenschrift-Display mit IMS-ASICs auf der SightCity 2009 in Frankfurt

13. - 15. Mai 2009
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"Naturwissenschaft und Technik" NWT - Unterricht am IMS

21. April 2009
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HANNOVER MESSE Industrie, Halle 2 Stand C21

20. - 24. April 2009
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Photomask and NGL Mask Technology XVI

08. - 10. April 2009
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IMS Newsletter 1/2009

27. März 2009
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IMS CHIPS auf der SPIE Advanced Lithography 2009

22. - 27. Februar 2009
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IMS erhält den begehrten "Jack Raper Award for Outstanding Technology-Directions"

09. Februar 2009
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XLI. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in der Reinhold-Würth-Hochschule in Künzelsau

06. Februar 2009
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Neue Zusammenarbeit im Bereich der Nanoimprint Lithographie

27. Januar 2009
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Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2009

17. Dezember 2008
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Vortrag "CMOS Imager Technologies for Biomedical Applications"

16. Dezember 2008
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Vortrag "Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"

10. - 11. Dezember 2008
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Forum "be-flexible" 2008 - Thin Semiconductor Devices, 9th International Workshop

02. Dezember 2008
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SAFE 2008 – Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and SENSORS

27. - 28. November 2008
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Mikroelektronik Technologie Seminar

14. - 29. November 2008
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5. GMM-Workshop - Energieautarke Sensorik

12. - 13. November 2008
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IMS auf der VISION 2008 in Stuttgart

04. - 06. November 2008
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4. Global Plastic Electronics Konferenz

27. - 29. Oktober 2008
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Kooperation mit Robert Bosch GmbH bei ultradünnen Mikrochips

24. Oktober 2008
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6th Workshop "Masks and More" 2008

23. Oktober 2008
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HDRC® -Imager Workshop 2008

16. Oktober 2008
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10. Oktober 2008
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SPIE Photomask Technology 28th Annual Symposium (BACUS 2008)

06. - 10. Oktober 2008
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IMS Newsletter 2/2008

26. September 2008
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U.R.S.I. Kleinheubacher Tagung 2008

22. - 25. September 2008
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IMS auf der Fachmesse Motek 2008

22. - 25. September 2008
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IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2008

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27. März 2008
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MicroTEC Südwest in der Finalrunde

11. März 2008
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hema präsentiert "seelector ICAM" mit HDRC® Bildsensor

04. März 2008
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24. - 29. Februar 2008
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Neue GFQ-Master

05. Februar 2008
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Abschlussveranstaltung: "VIP - Von der Idee zum Produkt"

14. Januar 2008
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Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2008

16. Dezember 2007
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Bundeskriminalamt veröffentlicht IMS-Abschlussbericht „Authentizität digitaler Bilder II"

10. Dezember 2007
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ABBILD - BMBF-Projekt erfolgreich abgeschlossen

30. November 2007
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Innovation Fair & Congress 07

29. November 2007
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IMS auf der VDE Mess- und Automatiserungstechnik

27. - 28. November 2007
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Photonik-Artikel über Thin-Film-on-CMOS

15. November 2007
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Mikroelektronik Technologie Seminar

09. - 24. November 2007
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IMS auf der VISION 2007 in Stuttgart

06. - 08. November 2007
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5th Workshop "Masks and More" 2007

26. Oktober 2007
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SPIE Photomask Technology 27th Annual Symposium (BACUS 2007)

17. - 21. September 2007
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Verbundprojekt Chipfilm gestartet

28. August 2007
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IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2007

01. August 2007
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SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips

16. - 27. Juli 2007
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HyperBraille – Neuartige Computer-Bedienoberfläche

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TerraSAR-X erfolgreich gestartet – mit dabei sind Mikrochips aus Stuttgart

15. Juni 2007
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Nanoimprint Lithografie - Projekt FANTASTIC

14. Juni 2007
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IMS CHIPS auf der MiNaT 2007

12. - 14. Juni 2007
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Kongressprogramm 13. SENSOR Kongress bei der Sensor + Test 2007

22. Mai 2007
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6. Mechatronik-Tag in Göppingen

09. Mai 2007
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Photomask Japan 2007

17. - 20. April 2007
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HANNOVER MESSE Industrie, Halle 2 Stand C19

16. - 20. April 2007
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Erfolgreiches Forschungsprojekt für Nachtsichtsysteme

05. April 2007
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Wir stellen erstmals unseren IMS Newsletter vor

02. April 2007
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Herzlich willkommen nach dem Relaunch

14. März 2007
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33. Bildverarbeitungsforum in Mannheim

06. März 2007
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Neuer Internetauftritt

04. März 2007
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VIP Innovations-Workshop

01. März 2007
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SPIEGEL-Artikel über HDR-Fotografie

01. März 2007
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Retina Implantat

22. Februar 2007
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SafetyEYE® - sicher sehen mit HDRC® -Bildsensor

22. Februar 2007
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Mikroelektronik Technologie Intensivkurs am IMS

19. - 22. Februar 2007
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Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2007

14. Dezember 2006
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Neues Verfahren zur Herstellung dünner Mikrochips präsentiert

12. Dezember 2006
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International Electron Devices Meeting

11. Dezember 2006
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Best Paper Award auf der Photomask Japan 2006

21. November 2006
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Brilliante Filmaufnahmen mit hochdynamischer digitaler Filmkamera, optimierter Signalverarbeitung und Wiedergabe mit neuartigem Display

21. November 2006
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Workshop ''Mikrohandhabung''

31. Oktober 2006
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Lithografie-Workshop 2006

27. Oktober 2006
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IMS auf der VISION 2006 in Stuttgart

23. Oktober - 09. November 2006
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IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2006

01. Oktober 2006
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MDgt. Günther Leßnerkraus neuer Vorsitzender des Kuratoriums

01. Oktober 2006
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Vortrag: Fortschritte mit drahtlosen, energieautarken Bildsensoren

14. - 15. September 2006
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Mikroelektronik Technologie - Intensivkurs am IMS

31. Juli - 08. August 2006
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''Schüler machen Chips''

24. Juli - 04. August 2006
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''Sensorik - Der Weg in die Zukunft''

22. Mai 2006
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Messe Control Sinsheim

09. - 12. Mai 2006
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MORE THAN MOORE – NEUE ANWENDUNGEN DER SILIZIUMTECHNOLOGIE

08. Mai 2006
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Mitgliederausstellung Mikrosystemtechnik Baden-Württemberg (MWST BW) im Solar-Info-Center Freiburg

04. Mai 2006
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Hannover Messe Halle 2 Stand C19

24. - 28. April 2006
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Vorlesung Halbleitertechnik 2

05. April 2006
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Workshop ''Neue Anwendungen in der Siliziumtechnologie''

06. März 2006
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EU Projekt ''IVP'' erfolgreich abgeschlossen

01. März 2006
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Mikroelektronik Technologie Intensivkurs am IMS

20. - 24. Februar 2006
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Kolloquium zur Verabschiedung von Prof. Dr. B. Höfflinger

20. Oktober 2005
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Prof. Dr. J. Burghartz neuer Leiter des IMS

01. Oktober 2005
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IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2005

04. September 2005
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Die ersten 8 EUV Vollfeldmasken für ASML gefertigt

10. August 2005
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